中微半导体设备（上海）股份 刻蚀与薄膜沉积领域的国产设备先锋

中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”，AMEC）是一家专注于高端半导体微观加工设备研发、生产和销售的科创板上市公司。公司成立于2004年，总部位于上海，主要产品包括等离子体刻蚀设备和薄膜沉积设备，广泛应用于集成电路、LED、功率器件及先进封装等领域。

在最核心的刻蚀设备方面，中微公司自主研发的电容耦合等离子体（CCP）刻蚀设备已进入5纳米及更先进制程的生产线，被国内外一线晶圆厂用于逻辑芯片和存储芯片制造。其电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备则覆盖130纳米至5纳米多个技术节点，在轻薄化、高深宽比刻蚀等工艺中表现优异。公司还积极布局薄膜沉积设备，包括化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）和金属有机化学气相沉积（MOCVD），其中MOCVD设备在蓝绿光LED芯片制造市场占据领先地位。

中微公司的核心竞争力体现在持续的自主创新上……

如需进一步了解中微公司在全球半导体设备产业链中的定位及最新进展，可参阅相关行业报告、公司年报或官方信息。